1.测量参数技术指标:
类型
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项目
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分辨率
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重复性
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再现性
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线性 |
环
矩 槽 形 |
上、下侧面直线度(μm)
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0.1
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0.6
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0.6
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1%
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上、下侧面倾斜度(μm)
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0.1
|
3.0
|
3.0
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||
上、下侧面平行度(μm)
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0.1
|
3.0
|
3.0
|
||
环槽与轴线垂直度(μm)
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0.1
|
5.0
|
5.0
|
||
梯
形 环 槽 |
上、下侧面直线度(μm)
|
0.1
|
0.6
|
0.6
|
1%
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上、下侧面角度
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1.0秒
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1.0分
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1.5分
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||
上、下侧面波纹度(μm)
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0.1
|
5.0
|
5.0
|
||
环槽与轴线垂直度(μm)
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0.1
|
4.0
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6.0
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2.测量原理:
活塞环槽测量采用趾口胎定位,主要测量机构分为左右平移旋转部分和上下移动部分;通过左右平移检测传感器上下变化量,计算出各个被测参数值。
左右平移旋转机构主要有精密工作台、精密密珠轴系、正弦规、精密平面导轨、高精度光栅、丝杠和手轮,趾口胎定位于精密工作台上,工作台固定在可调整偏摆和平移精密轴系上,精密轴系放置在正弦规上,正弦规位于精密平面导轨上,平面导轨下接高精度光栅,同时平面导轨连接丝杠,丝杠通过手轮带动整个测量系统左右平移。所用平移旋转机构搭起来后,左右移动精度<0.8μm / 10mm(工作台面上放置平晶后在平晶上任意10mm),旋转精度为轴系圆度<2.0μm,主轴端面跳动<2.5μm。精密轴系上有调整左右平移和前后平移的旋钮各2个(90度均布),调整左右偏摆和前后偏摆的旋钮各2个(90度均布),主轴锁紧旋钮四个(90度均布),转动杆四个(90度均布)。
上下移动部分主要有旁向传感器、精密立柱、手轮、丝杠和调整机构,旁向传感器固定在调整机构上(可对传感器位置进行粗调和精调),调整机构可随手轮丝杠在精密立柱上上下移动,传感器和光栅的分辨率为0.1μm。
测量矩形环槽时,将活塞放置在趾口胎上,通过调整机构,将传感器放置在活塞环槽中间位置,转动精密轴系,调整平移和偏摆,通过检视传感器示值变化,调整三点数值一致,这样,就可保证活塞平放,测量轴线与活塞轴线同轴,确保测量数据的准确性。
测量梯形环槽时,将正弦规支起规定角度(正弦规支起角度经过精密计量,与被测梯形槽角度一致),通过调整机构,将传感器放置在活塞环槽中间位置,转动精密轴系,调整平移和偏摆,通过检视传感器示值变化,调整三点数值一致,这样,就可保证活塞梯形槽转动时处于平放状态,测量轴线与活塞轴线同轴,确保测量数据的准确性。
各个参数的具体调整和测量方法有一些差异,都可以通过调整机构调整满足要求。
测量结果用工业控制计算机显示,电脑在测量时采集数据,计算结果并绘制图形,保存测量结果,并具有数据的统计分析功能,直线度采用最小二乘法评定,利用评定结果计算出梯形环槽角度值,与两点法算角度比较,更科学和接近实际。
3.其它要求:电源为AC220V,工作环境温度为0℃~60℃。